НИЛ 4.3 «МАТЕРИАЛЫ И СТРУКТУРЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»

СФЕРА ДЕЯТЕЛЬНОСТИ

  • Формирование и исследование пористого кремния и наноструктурированных композитных материалов и гетероструктур на его основе для создания приборов и устройств микро- и наноэлектроники, интегральной оптоэлектроники, микромеханики и сенсорных устройств.
  • Разработка элементной базы КМОП БИС на основе КНИ структур.
  • Разработка миниатюрных двигателей для наноспутников.

ТЕХНОЛОГИИ

  • Получение пористого кремния методом электрохимического анодирования.
  • Получение кремниевых нанонитей методом металл-стимулированного химического травления.
  • Химическое и электрохимическое осаждение металлов, сплавов и полупроводниковых соединений.
  • Химическое травление кремния (изотропное и анизотропное).
  • Высокотемпературный отжиг.
  • Термокомпрессионное соединение кремниевых пластин.

РАЗРАБОТКИ

  • ГКР-активные подложки на основе наноструктурированных пленок серебра на пористом кремнии для анализа состава физиологических растворов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света с минимальной концентрацией детектируемого вещества 10 -8 М.
  • Свободные пленки наноструктурированной пористой меди для изготовления гибких электродов для трансдермальной терапии путем электропорации.
  • Технология формирования слабо и сильно связанных с кремние­вой подложкой пленок меди и никеля для изготовления устройств микро- и наносистемной техники.
  • Наноструктурированные пленки и нанокристаллы оксида цинка для фотоприемников и солнечных элементов.
  • Нанокомпозитные материалы на основе ферромагнитных металлов, осажденных в пористый кремний для устройств магнитной памяти.
  • Буферные слои пористого кремния для гетероэпитаксиального роста пленок полупроводниковых соединений на кремниевых пластинах.
  • Конструкции и технология изготовления элементной базы радиационно-стойких КМОП БИС СОЗУ на основе КНИ структур.
  • Конструкции и технология изготовления элементной базы высокотемпературных КМОП БИС СОЗУ на основе КНИ структур.
  • Конструкции и технология изготовления элементной базы магниточувствительных КМОП БИС на основе КНИ структур.
  • Миниатюрные реактивные двигатели для наноспутников.

ДОСТИЖЕНИЯ

Сотрудники лаборатории участвовали в выполнении международных проектов:

  • SOROS Award (1993-1994)
  • NATO Linkage Research Grant HTECH.LG № 951231 (1995-1996)
  • NANO Collaborative Research Grant HTECH.CRG № 950955 (1995-1997)
  • Royal Society Joint Project (1996-1998)
  • CRDF Award № BE1-108 (1997-1999)
  • ESPRIT OLSI Project № 28.934 (2001-2003)
  • BELERA (2012-2013)

Сотрудники лаборатории имеют 52 авторских свидетельства на изобретения, 3 международных патента и 4 свидетельства на патенты Республики Беларусь.

СОТРУДНИЧЕСТВО

Университеты и научно-исследовательские организации Республики Беларусь, Российской Федерации, Украины, Великобритании, Бельгии, Италии, США, Литовской Республики, Греции, Испании.

С КОММЕРЧЕСКИМИ ПРЕДЛОЖЕНИЯМИ НИЛ 4.3 ВЫ МОЖЕТЕ ОЗНАКОМИТЬСЯ ЗДЕСЬ

ЗАВЕДУЮЩИЙ ЛАБОРАТОРИЕЙ

Бондаренко Виталий Парфирович

кандидат технических наук, доцент

тел.: +375 17 293 88 43

рабочее место: каб. 102 (1 корпус)

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
Телефон: +375 17 293 88 43
e-mail: vitaly@bsuir.edu.by