ЦЕНТР 2.1 «ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ СИСТЕМЫ И ТЕХНОЛОГИИ»

• разработка ионных источников для процессов ионно-лучевого распыления, двойного ионно-лучевого распыления, ионно-ассистированного нанесения слоев (IBAD)
• разработка магнетронных распылительных систем и несбалансированных магнетронных распылительных систем, в том числе для процессов магнетронного распыления при пониженном давлении
• процессы реактивного ионно-лучевого и магнетронного распыления
• процессы несбалансированного магнетронного распыления
• методы нейтрализации ионных пучков
• разработка процессов ионно-плазменного нанесения многослойных оптических структур с высокой стойкостью параметров
• разработка составов и процессов нанесения high-k и low-k диэлектриков
• разработка составов и процессов нанесения магниторезистивных тонких пленок
• разработка процессов ионно-плазменного нанесения функциональных слоев для твердооксидных топливных элементов
• ионная полировка оптических деталей

ПРОДУКЦИЯ

• ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ

           - распыляющий ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем SPIS-002
           - ассистирующий ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем ASIS-002
           - двухлучевой ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем DBIS-001
           - ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя EHIS-002
           - ионные источники на основе торцевого холловского ускорителя серии EHPM
           - ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя с интегрированным плазменным источником электронов
           - ассистирующий ионный источник с двойным холловским током
           - ассистирующий ионный источник с комбинированным анодным слоем
           - протяженный ассистирующий ионный источник
           - протяжный распыляющий / ассистирующий ионный источник с поворотной мишенью

• ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

           - безнакальный нейтрализатор ионного пучка NEO-001

• МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

           - магнетронные распылительные системы серии МАРС-100
           - RF/DC магнетронная распылительная система МИРАЖ-010.080
           - RF/DC магнетронная распылительная система RIF-001.036
           - протяженные магнетронные распылительные системы серии МСПР-1000
           - магнетронная распылительная система несбалансированного типа МАС-80

• СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

           - система диагностики параметров ионных пучков и потоков заряженных частиц ДЕНИ-1500/001
           - кварцевый датчик QI-001
           - датчик измерения плотности тока заряженных частиц СР-002

• ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС «DEPOSITION»

УСЛУГИ

• выполнение заказов по разработке ионно-плазменных устройств различной сложности и нанесению тонких пленок методами ионно-лучевого распыления, реактивного ионно-лучевого распыления
• разработка и создание многофункциональной модульной вакуумной техники
• разработка устройств проводится с применением современных методов компьютерного моделирования и оригинального программного обеспечения

ПРОЕКТЫ ЗА 2020 – 2022 ГОДЫ

Научно-технические проекты выполняются в рамках международных и национальных программ, в том числе совместно с партнерами.

1. Исследование и разработка технологии полировки оптических деталей с высоким отношением радиус-толщина с использованием емкостного разряда с магнитным полем.

2. Формирование защитных и износостойких покрытий на титановых сплавах при сочетании электронно-лучевого форвакуумного и ионно-плазменного нанесения.

3. Методы автоматического определения анатомического участка на КТ-изображениях легких.

4. Методы и средства транскутанного мониторинга объёмных и скоростных показателей дыхания.