НИЛ 4.10 «НАНОТЕХНОЛОГИИ»



 

 

 

 

 

 

НАПРАВЛЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ

  • формирование и исследование характеристик наноструктурированных модифицированных анодных оксидов вентильных металлов (Al, Ta, Nb, Zr и др.) и их сплавов
  • формирование шаблонов на основе пористого анодного оксида алюминия (АОА) для заполнения пор полупроводниковыми, магнитными, углеродными и биочувствительными материалами
  • применение металлических, полупроводниковых, оксидных структур в качестве функциональных элементов для микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики
  • управляемый направленный синтез новых функциональных материалов и покрытий на основе анодных оксидов алюминия и переходных металлов, металлических, металлоксидных и полупроводниковых наноструктур, исследование механизма образования и роста, их структуры и физико-химических свойств, зависимостей «структура – свойства»
  • разработка электрохимических процессов формирования тонкопленочных элементов и структур на основе наноструктурированных материалов для микро- и наноэлектроники, микро- и наномеханики, оптоэлектроники и мембранной техники
  • разработка, исследование и функционализация наноструктурированных модифицированных форм анодных оксидов вентильных металлов в составе различных тонкопленочных композиций и создание на их основе функциональных элементов и систем для микро- наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики

 

ПРОДУКЦИЯ

  • нанопористые подложки и мембраны на основе анодного оксида алюминия для высокочувствительных микромощных химических сенсоров
  • тонкопленочные микромощные химические сенсоры для контроля минимальных концентраций токсичных газов в технологической и окружающей средах, датчики влажности и другие микромеханические системы
  • матрицы полевых эмиссионных катодов на основе массивов вертикально-ориентированных металлических, углеродных и полупроводниковых наноструктур в матрицах АОА, полевых эмиссионных элементах
  • наностуктурированные материалы для перспективных термоэлектрических устройств на основе квантовых проводов антимонида индия
  • матрицы автоэмиссионных катодов из массивов столбиковых металлооксидных ниобиевых наноструктур
  • высокочастотные планарные индуктивно-емкостные элементы гибридных интегральных микросхем
  • технология тонкопленочных высокоомных прецизионных резисторов для гибридных интегральных схем
  • нанопористые анодно-оксидные сепараторы для многоразовых литиевых источников питания
  • массивы металлических нанопроводов, полученных в модифицированных матрицах анодного оксид алюминия
  • технология позиционированных микронных и субмикронных спэйсеров из анодного оксида алюминия для ЖК экранов
  • технология двухуровневой планарной алюминиевой металлизации для полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем

 

ГЕОГРАФИЯ СОТРУДНИЧЕСТВА

Республика Беларусь, Россия, Украина, Германия

 

ИНФОРМАЦИЯ О РУКОВОДИТЕЛЕ

Горох Геннадий Георгиевич
заведующий лабораторией
кандидат технических наук
☏  +375 17 293 80 47
🖂   gorokh@bsuir.by
персональная страница (Scopus)
персональная страница (GoogleScholar)
персональная страница (ResearchGate)
публикации в репозитории БГУИР

 

КОНТАКТЫ ПОДРАЗДЕЛЕНИЯ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 47
🖷  +375 17 292 96 28
🖂   gorokh@bsuir.by
✎  ул. П. Бровки, 6, каб. 202