КВАРЦЕВЫЙ ДАТЧИК QI-001



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Кварцевый датчик OI-001 предназначен для работы в системах кварцевого контроля толщины и скорости роста пленок в технологическом оборудовании вакуумного нанесения слоев и при проведении научных исследований.

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • электронно-лучевое и термическое испарение
  • ионно-ассистированное осаждение
  • ионно-лучевое распыление
  • магнетронное распыление (DC / RF), несбалансированное магнетронное распыление

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размер сменных пластин резонаторов, мм                                                                                                      Ø 0,55" (14 мм)
Частота сменных пластин резонаторов, мм 4.0, 5.0, 6.0
Диапазон измеряемых частот, МГц 4,0...10
Диапазон измеряемых толщин пленок, мкм 0,1...3,5
Габариты, мм Ø 46x28


Кварцевый датчик комплектуется фитингами, фланцами, трубками охлаждения для различных условий применения.


ПРЕИМУЩЕСТВА

  • для защиты датчика от потоков заряженных частиц используется магнитная система на Nd-Fe-B постоянных магнитах. Это позволяет использовать кварцевый датчик при ионной бомбардировке растущей пленки
  • эффективное водяное охлаждение кварцевой пластины и магнитной системы
  • возможно подключение гибких трубок для перемещения датчика в камере в вакуумном процессе

 

РАЗРАБОТЧИК

Центр 9.1 "Электронные технологии и техническая диагностика технологических сред и твердотельных структур"

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35 
🖷  +375 17 293 88 35
🖂   svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐  plasma.bsuir.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ 

ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС "DEPOSITION"