НИЛ 4.10 «НАНОТЕХНОЛОГИИ»
|
|
|
НАПРАВЛЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ
- формирование и исследование характеристик наноструктурированных модифицированных анодных оксидов вентильных металлов (Al, Ta, Nb, Zr и др.) и их сплавов
- формирование шаблонов на основе пористого анодного оксида алюминия (АОА) для заполнения пор полупроводниковыми, магнитными, углеродными и биочувствительными материалами
- применение металлических, полупроводниковых, оксидных структур в качестве функциональных элементов для микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики
- управляемый направленный синтез новых функциональных материалов и покрытий на основе анодных оксидов алюминия и переходных металлов, металлических, металлоксидных и полупроводниковых наноструктур, исследование механизма образования и роста, их структуры и физико-химических свойств, зависимостей «структура – свойства»
- разработка электрохимических процессов формирования тонкопленочных элементов и структур на основе наноструктурированных материалов для микро- и наноэлектроники, микро- и наномеханики, оптоэлектроники и мембранной техники
- разработка, исследование и функционализация наноструктурированных модифицированных форм анодных оксидов вентильных металлов в составе различных тонкопленочных композиций и создание на их основе функциональных элементов и систем для микро- наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики
ПРОДУКЦИЯ
- нанопористые подложки и мембраны на основе анодного оксида алюминия для высокочувствительных микромощных химических сенсоров
- тонкопленочные микромощные химические сенсоры для контроля минимальных концентраций токсичных газов в технологической и окружающей средах, датчики влажности и другие микромеханические системы
- матрицы полевых эмиссионных катодов на основе массивов вертикально-ориентированных металлических, углеродных и полупроводниковых наноструктур в матрицах АОА, полевых эмиссионных элементах
- наностуктурированные материалы для перспективных термоэлектрических устройств на основе квантовых проводов антимонида индия
- матрицы автоэмиссионных катодов из массивов столбиковых металлооксидных ниобиевых наноструктур
- высокочастотные планарные индуктивно-емкостные элементы гибридных интегральных микросхем
- технология тонкопленочных высокоомных прецизионных резисторов для гибридных интегральных схем
- нанопористые анодно-оксидные сепараторы для многоразовых литиевых источников питания
- массивы металлических нанопроводов, полученных в модифицированных матрицах анодного оксид алюминия
- технология позиционированных микронных и субмикронных спэйсеров из анодного оксида алюминия для ЖК экранов
- технология двухуровневой планарной алюминиевой металлизации для полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем
ГЕОГРАФИЯ СОТРУДНИЧЕСТВА
Республика Беларусь, Россия, Украина, Германия
ИНФОРМАЦИЯ О РУКОВОДИТЕЛЕ
Горох Геннадий Георгиевич
заведующий лабораторией
кандидат технических наук
☏ +375 17 293 80 47
🖂 gorokh@bsuir.by
персональная страница
КОНТАКТЫ ПОДРАЗДЕЛЕНИЯ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 47
🖷 +375 17 390 96 28
🖂 gorokh@bsuir.by
✎ ул. П. Бровки, 6, каб. 202