НИЛ 4.10 «НАНОТЕХНОЛОГИИ»

• формирование и исследование характеристик наноструктурированных модифицированных анодных оксидов вентильных металлов (Al, Ta, Nb, Zr и др.) и их сплавов
• формирование шаблонов на основе пористого анодного оксида алюминия (АОА) для заполнения пор полупроводниковыми, магнитными, углеродными и биочувствительными материалами
• применение металлических, полупроводниковых, оксидных структур в качестве функциональных элементов для микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики
• управляемый направленный синтез новых функциональных материалов и покрытий на основе анодных оксидов алюминия и переходных металлов, металлических, металлоксидных и полупроводниковых наноструктур, исследование механизма образования и роста, их структуры и физико-химических свойств, зависимостей «структура – свойства»
• разработка электрохимических процессов формирования тонкопленочных элементов и структур на основе наноструктурированных материалов для микро- и наноэлектроники, микро- и наномеханики, оптоэлектроники и мембранной техники
• разработка, исследование и функционализация наноструктурированных модифицированных форм анодных оксидов вентильных металлов в составе различных тонкопленочных композиций и создание на их основе функциональных элементов и систем для микро- наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики

ПРОДУКЦИЯ

• нанопористые подложки и мембраны на основе анодного оксида алюминия для высокочувствительных микромощных химических сенсоров
• тонкопленочные микромощные химические сенсоры для контроля минимальных концентраций токсичных газов в технологической и окружающей средах, датчики влажности и другие микромеханические системы
• матрицы полевых эмиссионных катодов на основе массивов вертикально-ориентированных металлических, углеродных и полупроводниковых наноструктур в матрицах АОА, полевых эмиссионных элементах
• наностуктурированные материалы для перспективных термоэлектрических устройств на основе квантовых проводов антимонида индия
• матрицы автоэмиссионных катодов из массивов столбиковых металлооксидных ниобиевых наноструктур
• высокочастотные планарные индуктивно-емкостные элементы гибридных интегральных микросхем
• технология тонкопленочных высокоомных прецизионных резисторов для гибридных интегральных схем
• нанопористые анодно-оксидные сепараторы для многоразовых литиевых источников питания
• массивы металлических нанопроводов, полученных в модифицированных матрицах анодного оксид алюминия
• технология позиционированных микронных и субмикронных спэйсеров из анодного оксида алюминия для ЖК экранов
• технология двухуровневой планарной алюминиевой металлизации для полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем