МИКРОЭЛЕКТРОНИКА И НАНОТЕХНОЛОГИИ
НИЛ 4.1 «Физика приборов микро- и наноэлектроники»
НИЛ 4.4 «Компьютерное проектирование микро- и наноэлектронных систем»
НИЛ 4.6 «Интегрированные микро- и наносистемы»
НИЛ 4.7 «Устройства обработки и отображения информации»
НИЛ 4.8 «Прикладная плазмоника»
Центр 4.11 «Наноэлектроники и новых материалов»
Научно-технологический кластер микро- и наноэлектроники:
НИЛ 4.2 «Технология гибридных микросхем»
НИЛ 4.3 «Материалы и структуры наноэлектроники»
Центр междисциплинарных исследований «Центр плазменного и биомедицинского инжиниринга»