НИЛ 4.2 «ТЕХНОЛОГИЯ ГИБРИДНЫХ МИКРОСХЕМ»

• электрохимическая алюмооксидная технология изготовления гибридных интегральных схем и многокристальных модулей

ПРОДУКЦИЯ

• электрохимическая алюмооксидная технология (ЭЛАТ) создания изделий электронной техники
• алюминиевые многовыводные корпуса
• многоуровневые системы межсоединений
• нагревательные элементы на основе алюминия
• алюминиевые анодированные основания (подложки)
• тонкопленочные температурные сенсоры

УСЛУГИ

• электрохимические процессы анодирования Al, Ta, Nb, Ti
• электрохимические и химические процессы осаждения металлов (Cu, Ni, Fe) и полупроводников (SnS, Cu₂ZnSnS₄)
• разработка электрохимической алюмооксидной технологии изготовления гибридных интегральных схем и многокристальных модулей, включая основные базовые операции: вакуумное напыление, фотолитография, анодирование.
• изготовление однослойных и двухслойных мембранных структур на основе наноструктурированного анодного оксида алюминия, в том числе со встроенными алюминиевыми и емкостными элементами