ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И ОБОРУДОВАНИЕ, МЕДИЦИНСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
НИЛ 2.2 "Функциональные пленочные системы
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
НИЛ 2.2 "Функциональные пленочные системы