МНОГОУРОВНЕВЫЕ СИСТЕМЫ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ
| 
									 | 
									 | 
									 | 
					
					
					 
НАЗНАЧЕНИЕ
Многоуровневые системы межсоединений используются как основания и подложки для широкого круга изделий электронной техники с повышенной механической прочностью, тепловыделением и высокой стойкостью к электромагнитным излучениям.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Минимальная ширина проводников и зазоров между ними, мкм | 8...10 | 
| Электрическая прочность электроизоляционного покрытия, В/см | 0,01 | 
| Диапазон рабочих температур, К | 50...100 | 
| Тангенс угла диэлектрических потерь | 1012 | 
| Теплопроводность, Вт/м·К | 2·105 | 
| Толщина электроизоляционного покрытия, мкм | 10...2·105 | 
| Толщина свободной оксидной пленки, мкм | 200...750 | 
			
			ПРЕИМУЩЕСТВА
- планарность рельефа поверхности
- высокая степень интеграции
- воспроизводимость и высокая точность геометрических размеров топологии
- высокая рассеиваемая мощность
- возможность встраивания в объем металлизации пассивных резистивных и емкостных элементов
- высокая стойкость к механическим, температурным и электромагнитным воздействиям
- воспроизводимость электрических параметров
- расширенные возможности топологического проектирования
РАЗРАБОТЧИК
НИЛ 4.2 "Технология гибридных микросхем"
КОНТАКТЫ
			ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
			☏  +375 17 293 88 50, +375 17 293 21 19
			🖷  +375 17 390 96 28
			🖂   sokol@bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ


