ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ
Распыляющий ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем SPIS-002
Ассистирующий ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем ASIS-002
Двухлучевой ионный на основе ускорителя с анодным слоем DBIS-001
Ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя EHIS-002
Ионные источники на основе торцевого холловского ускорителя серии EHPM
Ассистирующий ионный источник с двойным холловским током
Ассистирующий ионный источник с комбинированным анодным слоем
Протяженный ассистирующий ионный источник
Протяжный распыляющий / ассистирующий ионный источник с поворотной мишенью
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
Безнакальный нейтрализатор ионного пучка NEO-001
СИСТЕМЫ ГЕНЕРАЦИИ "ХОЛОДНОЙ" ПЛАЗМЫ
Система генерации плазмы атмосферного разряда.
Плоский источник индуктивно-связанной плазмы высокой плотности.
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Магнетронные распылительные системы серии МАРС-100
RF/DC магнетронная распылительная система МИРАЖ-010.080
RF/DC магнетронная распылительная система RIF-001.036
Протяженные магнетронные распылительные системы серии МСПР-1000
Магнетронная распылительная система несбалансированного типа МАС-80
СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ
Система диагностики параметров ионных пучков и потоков заряженных частиц ДЕНИ-1500/001
Датчик измерения плотности тока заряженных частиц СР-002