КВАРЦЕВЫЙ ДАТЧИК QI-001
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Кварцевый датчик OI-001 предназначен для работы в системах кварцевого контроля толщины и скорости роста пленок в технологическом оборудовании вакуумного нанесения слоев и при проведении научных исследований.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
- электронно-лучевое и термическое испарение
- ионно-ассистированное осаждение
- ионно-лучевое распыление
- магнетронное распыление (DC / RF), несбалансированное магнетронное распыление
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Размер сменных пластин резонаторов, мм | Ø 0,55" (14 мм) |
| Частота сменных пластин резонаторов, мм | 4.0, 5.0, 6.0 |
| Диапазон измеряемых частот, МГц | 4,0...10 |
| Диапазон измеряемых толщин пленок, мкм | 0,1...3,5 |
| Габариты, мм | Ø 46x28 |
Кварцевый датчик комплектуется фитингами, фланцами, трубками охлаждения для различных условий применения.
ПРЕИМУЩЕСТВА
- для защиты датчика от потоков заряженных частиц используется магнитная система на Nd-Fe-B постоянных магнитах. Это позволяет использовать кварцевый датчик при ионной бомбардировке растущей пленки
- эффективное водяное охлаждение кварцевой пластины и магнитной системы
- возможно подключение гибких трубок для перемещения датчика в камере в вакуумном процессе
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ