МИКРОЭЛЕКТРОНИКА И НАНОТЕХНОЛОГИИ

НАНОТЕХНОЛОГИИ

SERS-активные подложки для высокоточного анализа жидких и газовых сред методом рамановской спектроскопии

Наноструктурные материалы на основе углеродных нанотрубок

 

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Технология формирования индикатора изображения на алюминии

Технология формирования кластеров германия в пленках поликристаллического кремния, легированных германием

Электрохимическая алюмооксидная технология (ЭЛАТ) создания изделий электронной техники

Алюминиевые многовыводные корпуса

Многоуровневые системы межсоединений

Нагревательные элементы на основе алюминия

Алюминиевые анодированные основания (подложки)

Тонкопленочные температурные сенсоры

Светоизлучающие диоды на основе наноструктурированного кремния

Мини-фабрика заказных микроэлектронных изделий

Реактор комбинированного изотропно-анизотропного травления материалов электронной техники

Микродисплей светоизлучающего типа для видеопроекционных устройств и систем персонального типа

Программно-управляемый источник питания

Энергосберегающее автоматическое зарядное устройство СН 100-110

Оборудование и электрохимическая технология формирования трехмерных металлических межсоединений

Миниатюрный матричный реактивный двигатель на базе кремниевой МЭМС технологии