ОБОРУДОВАНИЕ И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТРЕХМЕРНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Источник генерирует программируемые оператором сложные последовательности стабилизированных импульсов тока/напряжения:
- для электрохимического формирования пор в кремнии
- для электрохимического оксидирования стенок пор
- для электрохимического заполнения пор медью
МАКРОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ С ИЗОЛИРОВАННЫМИ СТЕНКАМИ
Маршрут формирования макропористого кремния с изолированными стенками
КРЕМНИЕВАЯ ПОДЛОЖКА СО СФОРМИРОВАННЫМИ МАКРОПОРАМИ
Оксид кремния может быть сформирован с помощью низкотемпературного подхода (рабочая температура формирования оксида не превышает 100 °С)
РАЗРАБОТЧИК
НИЛ 4.2 «Технология гибридных микросхем»
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 84 52, + 375 29 637 40 09
🖷 +375 17 390 96 28
🖂 ghiro@bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ