ОБОРУДОВАНИЕ И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТРЕХМЕРНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Источник генерирует программируемые оператором сложные последовательности стабилизированных импульсов тока/напряжения:

  • для электрохимического формирования пор в кремнии
  • для электрохимического оксидирования стенок пор
  • для электрохимического заполнения пор медью

 

МАКРОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ С ИЗОЛИРОВАННЫМИ СТЕНКАМИ

Маршрут формирования макропористого кремния с изолированными стенками

 

КРЕМНИЕВАЯ ПОДЛОЖКА СО СФОРМИРОВАННЫМИ МАКРОПОРАМИ

Оксид кремния может быть сформирован с помощью низкотемпературного подхода (рабочая температура формирования оксида не превышает 100 °С)

 

РАЗРАБОТЧИК

НИЛ 4.2 «Технология гибридных микросхем»

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 84 52, + 375 29 637 40 09
🖷  +375 17 390 96 28
🖂   ghiro@tut.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

НАНОТЕХНОЛОГИИ

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА