ДАТЧИК ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ СР-002



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Датчик измерения плотности тока заряженных частиц СР-002 применяется в технологическом оборудовании ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий и предназначен для оперативного контроля параметров ионных пучков, потоков заряженных частиц в технологических процессах, а также для юстировки и проверки таких характеристик ионно-плазменных систем, как для распределение плотности ионного тока.

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • изменение плотности ионного тока

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Площадь электрода, см                                                                                                    1,0
Плотность измеряемого тока, мА/см2                                                                                                                   до 10
Габариты, мм Ø 24x37 

 

ПРЕИМУЩЕСТВА

  • конструкция электродов и изоляторов позволяет использовать датчик для измерения плотности тока в процессе ионно-лучевого, магнетронного и несбалансированного магнетронного распыления

 

РАЗРАБОТЧИК

Центр 9.1 "Электронные технологии и техническая диагностика технологических сред и твердотельных структур"

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35 
🖷  +375 17 293 88 35
🖂   svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐  plasma.bsuir.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ 

ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС "DEPOSITION"