ДАТЧИК ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ СР-002
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Датчик измерения плотности тока заряженных частиц СР-002 применяется в технологическом оборудовании ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий и предназначен для оперативного контроля параметров ионных пучков, потоков заряженных частиц в технологических процессах, а также для юстировки и проверки таких характеристик ионно-плазменных систем, как для распределение плотности ионного тока.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
- изменение плотности ионного тока
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Площадь электрода, см2 | 1,0 |
| Плотность измеряемого тока, мА/см2 | до 10 |
| Габариты, мм | Ø 24x37 |
ПРЕИМУЩЕСТВА
- конструкция электродов и изоляторов позволяет использовать датчик для измерения плотности тока в процессе ионно-лучевого, магнетронного и несбалансированного магнетронного распыления
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ