СИСТЕМА ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ ИОННЫХ ПУЧКОВ И ПОТОКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ДЕНИ-1500/001



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Система диагностики параметров ионных пучков и потоков заряженных частиц ДЕНИ-1500/001 применяется в технологическом оборудовании ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий, при проведении научных исследований, и предназначена для оперативного контроля параметров ионных пучков, потоков заряженных частиц в технологических процессах, а также для юстировки и проверки таких характеристик ионно-плазменных систем, как энергия ионов и распределение плотности ионного тока.

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • измерение энергетического спектра ионов и заряженных частиц с энергией до 1500 эВ
  • измерение плотности ионного тока

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диапазон изменяемых энергий ионов, эВ                                                                                                      100...300 (4 мА)
10...1500 (4 мА)
Виды анализируемых частиц                                                                                                    

ионы инертных газов, N2
ионы газов и потоки заряженных частиц не реагирующие с материалами зонда

Максимальная плотность плазмы, см-3, не более 1011
Максимальное рабочее давление, Па (Ar), не более 0,5
Время измерения, с, не более 20
Масса системы (нетто), кг, не более 6,5

 

Характеристики шестиэлектродного электростатическогого зонда ENPR/412-01

Входная апература зонда, мм                                                                 6...16
Размеры зонда, мм Ø 42x51
Масса зонда, кг, не более 0,3


Параметры сеточных электродов подобраны так, чтобы обеспечить регистрацию пучков с концентрацией до 1011 см-3. Для изменения чувствительности зонда и повышения пространственного разрешения используется набор диафрагм с калиброванными входными отверстиями Ø 6-16 мм.

 

РАЗРАБОТЧИК

Центр 9.1 "Электронные технологии и техническая диагностика технологических сред и твердотельных структур"

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35 
🖷  +375 17 293 88 35
🖂   svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐  plasma.bsuir.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ 

ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС "DEPOSITION"