СИСТЕМА ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ ИОННЫХ ПУЧКОВ И ПОТОКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ДЕНИ-1500/001
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Система диагностики параметров ионных пучков и потоков заряженных частиц ДЕНИ-1500/001 применяется в технологическом оборудовании ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий, при проведении научных исследований, и предназначена для оперативного контроля параметров ионных пучков, потоков заряженных частиц в технологических процессах, а также для юстировки и проверки таких характеристик ионно-плазменных систем, как энергия ионов и распределение плотности ионного тока.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
- измерение энергетического спектра ионов и заряженных частиц с энергией до 1500 эВ
- измерение плотности ионного тока
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Диапазон изменяемых энергий ионов, эВ |
100...300 (4 мА) 10...1500 (4 мА) |
| Виды анализируемых частиц |
ионы инертных газов, N2, |
| Максимальная плотность плазмы, см-3, не более | 1011 |
| Максимальное рабочее давление, Па (Ar), не более | 0,5 |
| Время измерения, с, не более | 20 |
| Масса системы (нетто), кг, не более | 6,5 |
Характеристики шестиэлектродного электростатическогого зонда ENPR/412-01
| Входная апература зонда, мм | 6...16 |
| Размеры зонда, мм | Ø 42x51 |
| Масса зонда, кг, не более | 0,3 |
Параметры сеточных электродов подобраны так, чтобы обеспечить регистрацию пучков с концентрацией до 1011 см-3. Для изменения чувствительности зонда и повышения пространственного разрешения используется набор диафрагм с калиброванными входными отверстиями Ø 6-16 мм.
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ