ПРОТЯЖЕННЫЕ МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ СЕРИИ МСПР-1000
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Протяженные магнетронные распылительные системы серии МСПР-1000 применяется в технологических установках вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначены для нанесения слоев металлов полупроводников и диэлектриков методами DC и импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления на крупноформатные подложки.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
- DC магнетронное распыление
- импульсное MF магнетронное распыление
- DC / MF реактивное магнетронное распыление
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Магнитная система | Sr-Fe-O постоянные магниты |
| Размер мишени, мм | |
| ширина | 100 |
| длина | до 1000 * |
| толщина | до 12 |
| Размер подложки, мм | до 500 ** |
| Напряжение разряда DC, В | 300...600 |
| Ток разряда DC, А | до 10,0 |
| Рабочие газы |
инертный или смесь инертного и реактивного газов (O2, N2 , CxHy) |
| Расход газа, мл/мин | 45...60 |
| Рабочее давление, Па | 0,06...1,0 |
| Скорость нанесения (Al мишени), DC, кВт | 1 |
| Габариты магнетрона, мм | 665x144x72 *** |
| Масса, кг, не более | 25,0 *** |
* по требованию Заказчика размер мишени может быть изменен в диапазоне от 200 до 1000 мм
** при длине мишени 610 мм для заданной неравномерности толщины пленки ±10%
*** при длине мишени 610 мм
ПРЕИМУЩЕСТВА
- магнетронная система выполнена на Nd-Fe-B магнитах
- косвенное охлаждение мишени и магнитов
- медный корпус катода обеспечивает хорошее охлаждение мишени и магнитной системы
- магнетрон устанавливается в вакуумной камере и легко позиционируется в любом положении
- интегральная система газоснабжения
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ