RF/DC МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА МИРАЖ-010.080
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Система RF/DC магнетронного распыления МИРАЖ-010.080 применяется в технологии вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначена для нанесения слоев металлов, полупроводников и диэлектриков методами DC, RF (13,56 МГц), импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
- DC магнетронное распыление
- импульсное MF магнетронное распыление
- RF магнетронное распыление
- DC/RF реактивное магнетронное распыление
- импульсное реактивное магнетронное распыление
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Магнитная система | Nd-Fe-B постоянные магниты |
| Размер мишени, мм | Ø 80 (толщина мишени 1-6 мм) * |
| Размер подложки, мм | 60x60 ** |
| Напряжение разряда DC, В | 300...600 |
| Ток разряда DC, А | до 3,0 |
| Мощность ВЧ разряда (13,56 МГц), Вт | до 600 |
| Рабочие газы |
инертный или смесь инертного и реактивного газов (O2, N2 , CxHy) |
| Расход газа, мл/мин | 45...60 |
| Рабочее давление, Па | 0,06...1,0 |
| Скорость нанесения (Al мишени), нм/с | |
| DC 1 кВт | до 20,0 |
| ВЧ (13,56 МГц, 600 Вт) | до 2,5 |
| Габаритные размеры магнетрона, мм | Ø 127x80 |
| Масса, кг, не более | 5,0 |
* по требованию Заказчика размер мишени может быть изменен в диапазоне от 50 до 170 мм
** для заданной неравномерности толщины пленки ±10%
ПРЕИМУЩЕСТВА
- магнетронная система выполнена на Nd-Fe-B магнитах
- косвенное охлаждение мишени и магнитов
- медный корпус катода обеспечивает хорошее охлаждение мишени и магнитной системы
- магнетрон устанавливается в вакуумной камере и легко позиционируется в любом положении
- интегральная система газоснабжения
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ