RF/DC МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА МИРАЖ-010.080



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Система RF/DC магнетронного распыления МИРАЖ-010.080 применяется в технологии вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначена для нанесения слоев металлов, полупроводников и диэлектриков методами DC, RF (13,56 МГц), импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления. 

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • DC магнетронное распыление
  • импульсное MF магнетронное распыление
  • RF магнетронное распыление
  • DC/RF реактивное магнетронное распыление
  • импульсное реактивное магнетронное распыление

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Магнитная система                                                                                                                       Nd-Fe-B постоянные магниты
Размер мишени, мм Ø 80 (толщина мишени 1-6 мм) *
Размер подложки, мм 60x60 **
Напряжение разряда DC, В 300...600
Ток разряда DC, А до 3,0
Мощность ВЧ разряда (13,56 МГц), Вт до 600
Рабочие газы инертный или смесь
инертного и реактивного газов
(O2, N2 , CxHy)
Расход газа, мл/мин 45...60
Рабочее давление, Па 0,06...1,0
Скорость нанесения (Al мишени), нм/с   
DC 1 кВт до 20,0
ВЧ (13,56 МГц, 600 Вт) до 2,5
Габаритные размеры магнетрона, мм Ø 127x80
Масса, кг, не более 5,0


* по требованию Заказчика размер мишени может быть изменен в диапазоне от 50 до 170 мм
** для заданной неравномерности толщины пленки  ±10%


ПРЕИМУЩЕСТВА

  • магнетронная система выполнена на Nd-Fe-B магнитах
  • косвенное охлаждение мишени и магнитов
  • медный корпус катода обеспечивает хорошее охлаждение мишени и магнитной системы
  • магнетрон устанавливается в вакуумной камере и легко позиционируется в любом положении
  • интегральная система газоснабжения

 

РАЗРАБОТЧИК

Центр 9.1 "Электронные технологии и техническая диагностика технологических сред и твердотельных структур"

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35 
🖷  +375 17 293 88 35
🖂   svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐  plasma.bsuir.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ 

ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС "DEPOSITION"