ПРОТЯЖЕННЫЙ РАСПЫЛЯЮЩИЙ / АССИСТИРУЮЩИЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК С ПОВОРОТНОЙ МИШЕНЬЮ
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Однолучевой протяженный распыляющий / ассистирующий ионный источник с поворотной мишенью предназначен для предварительной ионной очистки и нанесения слоев на внутреннюю поверхность крупногабаритных цилиндрических объектов или барабанный подложкодержатель.
Источник располагается в объеме вакуумной камеры, внутри барабанного подложкодержателя или крупногабаритного цилиндрического объекта.
Применение источника позволяет отказаться от дополнительного ионного источника и размещения в ограниченном объеме несколько технологических устройств, что предоставляет возможность нанесения многослойных тонкопленочных покрытий ионно-плазменными методами на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов диаметров 350 мм и более в едином вакуумном цикле
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Размер мишени, мм | 600x120 |
| Анодное напряжение DC, В | 1000...6000 |
| Энергия ионов, эВ | 400...2000 |
| Ток разряда, мА | до 500 |
| Ток ионного пучка, мА | до 250 |
| Рабочее давление, Па | 0,03...0,08 |
| Расход газа, мл/мин | до 80 |
| Рабочие газы | Ar, O2, N2, CH4 и т.д. |
| Скорость нанесения слоев (Al), нм/с | до 0,8 |
| Средняя скорость нанесения SiO2, нм/с | 0,044 * |
| Неравномерность толщины наносимых слоев | |
| на длине 400 мм, %, не более | 18 |
| на длине 500 мм, %, не более | 40 |
| Размеры, мм | 580x140x80 |
| Масса, кг, не более | 15 |
* при вращении барабанного подложкодержателя Ø 350 мм
ПРЕИМУЩЕСТВА
- магнитная система выполнена на Sr-Fe-O постоянных магнитах
- охлаждение анода, корпуса и мишени проточной водой
- предварительная ионная очистка, нанесение слоев методами ионно-лучевого распыления и непосредственного нанесения слоев из ионного пучка применяется только один ионный источник, что достигается за счет применения поворотного узла мишени
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ