ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС «DEPOSITION»
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Программный комплекс "DEPOSITION" предназначен для расчета распределения скорости нанесения и толщины наносимых слоев при магнетронном распылении для различных конфигураций зон распыления магнетронных распылительных систем и систем перемещения подложек.
СОСТАВ КОМПЬЮТЕРНОЙ ПРОГРАММЫ
Комплекс включает в себя математические модели следующих вариантов процесса нанесения:
- стационарное распыление с использованием аксиальной или протяженной магнетронной распылительной системы
- магнетронное нанесение на рулонные или крупногабаритные подложки при линейном перемещении в зоне нанесения
- магнетронное нанесение на подложки, расположенные на вращающемся барабанном подложкодержателе при расположении магнетрона внутри и снаружи подложкодержателя
- магнетронное нанесение на вращающемся подложки и подложки расположенные на подложкодержателе планетарного типа
- модель прогнозирования элементного состава нанесенных пленок при распылении мозаичных мишеней с произвольным расположение вставок из других материалов
В состав программы входят базы данных физических свойств распыляемых материалов. Операционная система - семейство проприетарных операционных систем корпорации Microsoft.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Видеоадаптер с поддержкой 32-битного цвета | |
| Объем оперативной памяти, МБ, не менее | 500 |
| Объем свободного места на жестком диске, МБ, не менее | 100 |
| Современный процессор с разрядностью 32 и/или 64 бита |
Компьютерная программа "DEPOSITION" зарегистрирована в Национальном центре интеллектуальной собственности (свидетельство №736 от 19.02.2015 года).
ПРЕИМУЩЕСТВА
- быстрый расчет профилей распределения скорости нанесения для протяженных и аксиальных магнетронов, магнетронов с несколькими зонами распыления при различной геометрии камеры и способах перемещения подложек
- наличие большинства используемых в научных исследованиях и промышленности основных конфигураций процессов магнетронного распыления и возможность их расширения по запросу заказчика
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ