БЕЗКАНАЛЬНЫЙ НЕЙТРАЛИЗАТОР ИОННОГО ПУЧКА NEO-001



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Безнакальный нейтрализатор ионного пучка NEO-001 используется в качестве сильноточного эмиттера электронов для нейтрализации объемного заряда, компенсации ионных пучков и поддержания процессов ионизации источников ионов. Располагается в непосредственной близости от области генерации и ускорения ионов ионного источника.

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Напряжение разряда, В                                                                                                                       180...500
Ток разряда, А до 4,5
Компенсируемый ток ионного пучка, А до 0,5
Рабочий газ Ar
Расход рабочего газа, мл/мин 2,5...15
Рабочее давление, Па 8·10-3...6·10-2


ПРЕИМУЩЕСТВА

  • отсутствие накальных элементов
  • ресурс работы не менее 60 часов
  • нечувствительность к реактивной газовой среде

 

РАЗРАБОТЧИК

Центр 9.1 "Электронные технологии и техническая диагностика технологических сред и твердотельных структур"

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35 
🖷  +375 17 293 88 35
🖂   svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐  plasma.bsuir.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ 

ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС "DEPOSITION"