МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ СЕРИИ МАРС-100
|
|
|
|
НАЗНАЧЕНИЕ
Магнетронные распылительные системы серии МАРС-100 применяются в технологии вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначены для нанесения слоев металлов, полупроводников и их соединений методами DC, импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
- DC магнетронное распыление
- импульсное MF магнетронное распыление
- DC реактивное магнетронное распыление
- импульсное реактивное магнетронное распыление
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Напряжение разряда, В | 300...600 |
| Ток разряда, А | до 5,0 |
| Рабочие газы |
инертный или смесь инертного и реактивного газов (O2, N2 , CxHy) |
| Расход газа, мл/мин | до 50 |
| Рабочее давление, Па | 0,05...1,0 |
| Размер мишени, мм | Ø 100 (толщина мишени 1-6 мм)* |
| Размер подложки, мм | 60x60 ** |
| Скорость нанесения (Al мишень), нм/с | до 20 |
| Габариты магнетрона, мм | Ø 140x105 |
| Масса, кг, не более | 5,0 |
* по требованию Заказчика размер мишени может быть изменен в диапазоне от 60 до 170 мм
** для заданной неравномерности толщины пленки ±10 % на расстоянии 60 мм от поверхности мишени
ПРЕИМУЩЕСТВА
- магнетронная система выполнена на Sr-Fe-O постоянных магнитах
- прямое водяное охлаждение магнитной системы
- охлаждение мишени осуществляется проточной водой через тонкую медную мембрану, которая под действием давления воды плотно прилегает к мишени, что значительно снижает тепловое сопротивление системы мишень-катод и позволяет работать при повышенных мощностях
- возможно использование непосредственного охлаждения мишени
- интегральная система газоснабжения
РАЗРАБОТЧИК
Центр 2.1 "Ионно-плазменные системы и технологии"
КОНТАКТЫ
ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏ +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35
🖷 +375 17 293 88 35
🖂 svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐 plasma.bsuir.by
ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ