МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ СЕРИИ МАРС-100



 

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Магнетронные распылительные системы серии МАРС-100 применяются в технологии вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок и предназначены для нанесения слоев металлов, полупроводников и их соединений методами DC, импульсного MF (10-200 кГц) магнетронного распыления и реактивного магнетронного распыления. 

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • DC магнетронное распыление
  • импульсное MF магнетронное распыление
  • DC реактивное магнетронное распыление
  • импульсное реактивное магнетронное распыление

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Напряжение разряда, В                                                                                                        300...600
Ток разряда, А до 5,0
Рабочие газы инертный или смесь
инертного и реактивного газов
(O2, N2 , CxHy)
Расход газа, мл/мин до 50
Рабочее давление, Па 0,05...1,0
Размер мишени, мм Ø 100 (толщина мишени 1-6 мм)*
Размер подложки, мм 60x60 **
Скорость нанесения (Al мишень), нм/с до 20
Габариты магнетрона, мм Ø 140x105
Масса, кг, не более 5,0


* по требованию Заказчика размер мишени может быть изменен в диапазоне от 60 до 170 мм
** для заданной неравномерности толщины пленки  ±10 % на расстоянии 60 мм от поверхности мишени


ПРЕИМУЩЕСТВА

  • магнетронная система выполнена на Sr-Fe-O постоянных магнитах
  • прямое водяное охлаждение магнитной системы
  • охлаждение мишени осуществляется проточной водой через тонкую медную мембрану, которая под действием давления воды плотно прилегает к мишени, что значительно снижает тепловое сопротивление системы мишень-катод и позволяет работать при повышенных мощностях
  • возможно использование непосредственного охлаждения мишени
  • интегральная система газоснабжения

 

РАЗРАБОТЧИК

Центр 9.1 "Электронные технологии и техническая диагностика технологических сред и твердотельных структур"

 

КОНТАКТЫ

ул. П. Бровки, 6, г. Минск, 220013, Республика Беларусь
☏  +375 17 293 80 79, +375 17 293 88 35 
🖷  +375 17 293 88 35
🖂   svad@bsuir.by ; szavad@bsuir.by
🌐  plasma.bsuir.by

 

ДРУГИЕ РАЗРАБОТКИ НАПРАВЛЕНИЯ

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ 

ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННЫХ ПУЧКОВ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

СИСТЕМЫ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС "DEPOSITION"