НИЛ 4.6 «ИНТЕГРИРОВАННЫЕ МИКРО- И НАНОСИСТЕМЫ»

• проектирование и производство изделий микро- и наноэлектроники
• синтез и исследование углеродных нанотрубок и органических молекулярных нанокристаллитов
• разработка и изготовление изделий микро- и наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок и органических молекулярных нанокристаллитов
• электрохимическое наноструктурирование материалов таких как кремний, алюминий, тугоплавкие металлы ряда титан, вольфрам, ниобий

ПРОДУКЦИЯ

• наноструктурные материалы на основе углеродных нанотрубок
• реактор комбинированного изотропно-анизотропного травления материалов электронной техники
• светоизлучающие диоды на основе наноструктурированного кремния
• каскадные светодиоды на основе наноструктурированного кремния
• оптические связи на кристаллах кремния и между кристаллами кремния
• микроэлектромеханическая система на основе горения наноструктурного кремния.

ПРОЕКТЫ ЗА 2020 – 2022 ГОДЫ

Научно-технические проекты выполняются в рамках международных и национальных программ, в том числе совместно с партнерами.

1. Разработка процессов формирования и исследование электрокинетических свойств наночастиц с металлографеновой структурой в органических комплексах ибупрофена, индометацина, напроксена для улучшения противовоспалительных и антипролиферативных эффектов в онкологических заболеваниях.

2. Формирование и люминесцентные свойства пленочных структур из двумерных кристаллов гексагонального нитрида углерода.