НИЛ 4.3 «МАТЕРИАЛЫ И СТРУКТУРЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»

• формирование и исследование пористого кремния и наноструктурированных композитных материалов и гетероструктур на его основе для создания приборов и устройств микро- и наноэлектроники, интегральной оптоэлектроники, микромеханики и сенсорных устройств
• разработка элементной базы КМОП БИС на основе КНИ структур
• разработка миниатюрных двигателей для наноспутников

ПРОДУКЦИЯ

• свободные пленки наноструктурированной пористой меди для изготовления гибких электродов для трансдермальной терапии путем электропорации
• технология формирования слабо и сильно связанных с кремниевой подложкой пленок меди и никеля для изготовления устройств микро- и наносистемной техники
• наноструктурированные пленки и нанокристаллы оксида цинка для фотоприемников и солнечных элементов
• нанокомпозитные материалы на основе ферромагнитных металлов, осажденных в пористый кремний для устройств магнитной памяти
• буферные слои пористого кремния для гетероэпитаксиального роста пленок полупроводниковых соединений на кремниевых пластинах
• конструкции и технология изготовления элементной базы радиационно-стойких КМОП БИС СОЗУ на основе КНИ структур
• конструкции и технология изготовления элементной базы высокотемпературных КМОП БИС СОЗУ на основе КНИ структур
• конструкции и технология изготовления элементной базы магниточувствительных КМОП БИС на основе КНИ структур
• миниатюрные реактивные двигатели для наноспутников

УСЛУГИ

• получение пористого кремния методом электрохимического анодирования
• получение кремниевых нанонитей методом металл-стимулированного химического травления
• химическое и электрохимическое осаждение металлов, сплавов и полупроводниковых соединений
• химическое травление кремния (изотропное и анизотропное)
• высокотемпературный отжиг
• термокомпрессионное соединение кремниевых пластин

ПРОЕКТЫ ЗА 2020 – 2023 ГОДЫ

Научно-технические проекты выполняются в рамках международных и национальных программ, в том числе совместно с партнерами.

1. Гетероструктуры на основе наноразмерных кристаллов оксида цинка, соединений A3B5 и перовскитов, легированных переходными и редкоземельными металлами, для фотовольтаики и биосенсорики. 

2. Формирование тонкопленочных нанокомпозитных материалов оксид цинка/оксид никеля для устройств хранения энергии.

В т.ч. сотрудники лаборатории участвовали в выполнении международных проектов:

• SOROS Award (1993-1994)
• NATO Linkage Research Grant HTECH.LG № 951231 (1995-1996)
• NANO Collaborative Research Grant HTECH.CRG № 950955 (1995-1997)
• Royal Society Joint Project (1996-1998)
• CRDF Award № BE1-108 (1997-1999)
• ESPRIT OLSI Project № 28.934 (2001-2003)
• BELERA (2012-2013)