Главная / Подразделения / Плазменные технологии и оборудование, медицинская электроника

Завадский Сергей Михайлович

Начальник центра ионно-плазменных систем и технологий

кандидат технических наук, доцент

☏  +375 17 293 80 79

🖂   szavad@bsuir.by

персональная страница Scopus

персональная страница Google Scholar

публикации в репозитории БГУИР                                                                                                                 

 

ОБЛАСТЬ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

  • Проектирование и изготовление ионно-лучевых и плазменных устройств для тонкопленочного осаждения: распыляющие ионные источники, источники ионного осаждения, магнетронные системы распыления.
  • Исследование и разработка процессов ионно-лучевого и плазменного напыления для формирования тонких пленок: ионно-лучевое напыление, двойное ионно-лучевое напыление, ионно-ассистированное напыление, реактивное магнетронное напыление, несбалансированное магнетронное напыление, импульсное и ВЧ-магнетронное напыление.

 

ЧИТАЕМЫЕ УЧЕБНЫЕ ДИСЦИПЛИНЫ

  • Интегрированные автоматизированные технологические комплексы.
  • Плазменные и пучковые технологии.

 

ОБРАЗОВАНИЕ

Высшее. В 1992 году окончил Минский радиотехнический институт.

 

ТРУДОВАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ

Начало научной трудовой деятельности с 25 лет. В настоящее время начальник центра ионно-плазменных систем и технологий (ранее – центр электронных технологий и технической диагностики технологических сред и твердотельных структур) научно-исследовательской части БГУИР.

 

НАУЧНЫЕ СТАТЬИ, ПАТЕНТЫ И ДРУГИЕ НАУЧНЫЕ ТРУДЫ

Опубликовано более 120 публикаций, из них более 38 статей в научных журналах, 7 монографий. Получено 6 патентов.

 

НАИБОЛЕЕ ЗНАЧИМЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ЗА 2015-2020 ГОДЫ

  • Голосов Д.А., Окс Е.М., Бурдовицин В.А., Нгуен Т.Д., Мельников С.Н., Завадский С.М., Поболь И.Л., Кананович Н.А., Тиан К., Лам Н.Н. Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия // Трение и износ. – 2020. – Т. 41, № 4. – С. 420–426.
  • Руденков А.С., Рогачев А.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Лучников П.А. Повышение механических характеристик кремний-углеродных покрытий методом ионного азотирования структуры // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. – 2020. – Т. 12, № 1. – С. 22–28.
  • Nitrided Silicon-Carbon Coatings Structure and Properties / A.S. Rudenkov, A.V. Rogachev, S.M. Zavadski, D.A. Golosov, P.A. Luchnikov, G.Yu. Dalskaya, A.N. Vtoruchina // Вестник Карагандинского университета. Серия «Физика». – 2020. – № 2 (98). – С. 7–17.
  • D. Golosov, E. Oks, V. Burdovitsin, T. Nguyen, S. Melnikov, S. Zavadski, I. Pobol, N. Kananovich, Tian Xiubo, N. Lam The effect of the degree of aluminum alloying on the mechanical and tribological characteristics of titanium-aluminum nitride films / Journal of Friction and Wear. – 2020. – Vol. 41, № 4. – P. 304–309.
  • Нгуен Т.Д., Занько А.И., Голосов Д.А., Завадский С.М., Мельников С.Н., Колос В.В. Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления / Доклады БГУИР. – 2020. – Т. 18, № 6. – С. 94–102.
  • J Zhang, G Zhu, W Liu, Y Xi, D. Golosov, S. Zavadski, S. Melnikov 3D core-shell WO3@ α-Fe2O3 photoanode modified by ultrathin FeOOH layer for enhanced photoelectrochemical performances / Journal of Alloys and Compounds. – 2020. – Vol. 834. – P. 154992.
  • Z. Vakulov, E. Zamburg, D. Khakhulin, A. Geldash, D. Golosov, S. Zavadski, A. Miakonkikh, K. Rudenko, A. Dostanko, Zh. He, O. Ageev Oxygen Pressure Influence on Properties of Nanocrystalline LiNbO3 Films Grown by Laser Ablation / Nanomaterials. – 2020. – Vol. 10, № 7. – P. 1371.
  • J. Zhang, Ch. Yang, Sh. Li, Y. Xi, Ch. Cai, W. Liu, D. Golosov, S. Zavadski, S. Melnikov Preparation of Fe3+ Doped High-Ordered TiO2 Nanotubes Arrays with Visible Photocatalytic Activities / Nanomaterials. – Vol. 10, № 11. P. 2107 (1–12).
  • Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – 260 с.
  • V. Burdovitsin, D. Golosov, E. Oks, A. Tyunkov, Yu. Yushkov, D. Zolotukhin, S. Zavadsky Electron beam nitriding of titanium in medium vacuum // Surface & Coatings Technology. – 2019. – Vol. 358. – P. 726–731.
  • Руденков А.С., Рогачев А.В., Купо А.Н., Завадский С.М., Голосов Д.А., Лучников П.А. Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением // Наноматериалы и наноструктуры – XXI век. – 2019. – Т. 10, № 2. – С. 29-36.
  • J. Zhang, Y. Yang, J. Zhao, Z. Dai, W. Liu, C. Chen, S. Gao, D. Golosov, S. Zavadski, S. Melnikov Shape tailored Cu2ZnSnS4 nanosheet aggregates for high efficiency solar desalination // Materials Research Bulletin. – 2019. – Vol. 118. – P. 110529
  • Golosov D.A., Vilya N., Zavadski S.М., Melnikov S.N., Avramchuk A.V., Grekhov М.М., Kargin N.I., Komissarov I.V. Influence of film thickness on the dielectric characteristics of hafnium oxide layers // Thin Solid Films. – 2019. – Vol. 690. – P. 137517
  • Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А.П. Достанко [и др.]; под ред. акад. А.П. Достанко.– Минск: Беларусская навука, 2018. – 270 с.
  • А.П. Достанко, С.М. Завадский, Д.А. Голосов, Г.П. Бутько, М.В. Ермоленко, С.И. Мадвейко // Интегрированные автоматизированные комплексы: пособие / Достанко А.П.[и др.] – Минск: БГУИР, 2018.- 87 с.
  • Окоджи Д.Э., Голосов Д.А., Мельников С.Н., Завадский С.М., Колос В.В., Поплевка Е.А., Жукович Ю.А. Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления // Проблемы физики, математики и техники. – 2018. – Том. 34, № 1. – С. 33-37.
  • Холов П.А., Гапоненко Н.В., Голосов Д.А., Завадский С.М., Колосницын Б.С., Иванов В.А., Колос В.В. Фототок в структурах кремний/титанат стронция/никель // Доклады БГУИР. – 2018, № 1 (111). – С. 19-24.
  • D. Golosov, J. Okojie, S. Zavadski, A. Rudenkov, V. Kolos, S. Melnikov Stability of the platinum electrode during high temperature annealing // Thin Solid Films. – 2018. – Vol. 661. – P. 53-59.
  • Z. Vakulov, M. Ivonin, E. Zamburg, V. Klimin, D. Volik, D. Golosov, S. Zavadskiy, A. Dostanko, A. Miakonkikh, I. Clemente, K. Rudenko, O. Ageev Size effects in LiNbO3 thin films fabricated by pulsed laser deposition // Journal of Physics: Conference Series. – 2018. – Vol. 1124, №2. – P. 022032. (P. 1-5).
  • Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / А.П. Достанко [и др.]. – Минск: Беларуская навука, 2016. – 251 с.
  • D. Golosov, S. Zavadski, V. Кolos, A. Turtsevich, D. Okodzhi Influence of the annealing temperature on the ferroelectric properties of niobium-doped strontium–bismuth tantalate // Russian Microelectronics. – 2016. – Vol. 45, № 1. – p. 11–17.
  • Голосов Д.А., Завадский С.М., Колос В.В., Турцевич А.С. Сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута // ФТТ. – 2016. – Том 58, № 1. – с. 51-55.
  • D. Golosov, S. Zavadski, V. Kolos, A. Turtsevich Ferroelectric properties of niobium-doped strontium bismuth tantalate films // Physics of the Solid State. – 2016. – Vol. 58, № 1, p. 50–54.
  • Ермоленко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Мельников С.Н., Замбург Е.Г. Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении // Трение и износ. – 2016. – Том 37, № 3. – с. 369-373.
  • M. Ermolenko, S. Zavadski, D. Golosov, S. Melnikov, E. Zamburg Tribological behavior of TiN films deposited by reactive magnetron sputtering under low pressure // Journal of Friction and Wear. – 2016. – Vol. 37, № 3. – p 289–292.
  • Достанко А.П., Голосов Д.А., Завадский С.М., Мельников С.Н., Окоджи Д.Э., Котинго Д.Д., Рубан Г.М. Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении // Проблемы физики, математики и техники. – 2016. – Т. 27, № 2. – с. 12-17.
  • D. Golosov, S. Melnikov, S. Zavadski, V. Kolos, J. Okojie The increase in thickness uniformity of films obtained by magnetron sputtering with rotating substrate // Plasma Physics and Technology. – 2016. – Vol. 3, № 3. – p. 100-104.
  • Достанко А.П., Голосов Д.А., Завадский С.М., Соловьев Я.А., Ковальчук Н.С., Мельников С.Н., Стасишина А.М. // Практические занятия по курсу «Проектирование и производство изделий интегральной электроники» / Достанко А.П.[и др.] – Минск: БГУИР, 2015.-81с.
  • D. Golosov, S. Melnikov, S. Zavadski, M. Ermolenko Optical and tribological properties of PVD/CVD diamond-like carbon films // Plasma Physics and Technology. – 2015. – Vol. 2, № 1. – 17-20.
  • Ермоленко М.В., Достанко А.П., Завадский С.М., Голосов Д.А. Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления // Доклады БГУИР. – 2015 – № 5, – C. 119-121.
  • Агеев О.А., Юн Чон-Гол, Замбург Е.Г., Варзарев Ю.Н., Джуплин В.Н., Голосов Д.А., Хахулин Д.А. УФ-сенсор на основе нанокристаллических пленок ZnО, полученных методом AACVD // Известия ЮФУ. – 2015. – № 9. – с.66-75.
  • Голосов Д.А., Завадский С.М., Колос В.В., Турцевич А.С., Окоджи Д.Э. Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6, С. 1–8.